| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11195620(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19980248351 |
申请日期 |
1998.09.02 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
HAMANAKA NOBUAKI;INOUE AKIRA;ABIKO HITOSHI;HIGUCHI MINORU |
| 分类号 |
C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/823 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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