发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11195653(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19970367746 申请日期 1997.12.26
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SAITO TAKESHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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