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发明名称 FLOWING LIQUID TYPE WORK CASSETTE WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11192461(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980207924 申请日期 1998.07.23
申请人 SPEEDFAM CLEAN SYSTEM KK 发明人 TERUI YOSHINOBU
分类号 B08B1/04;B08B3/04;B08B3/12;B08B7/04;B08B11/02;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/04 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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