摘要 |
Bir ya da daha fazla iletken metal tabakasi (2, 2') ile kaplanmis dielektrik bir film'den (1) bir baskili devre (21, 31) yapmak için bir metod açiklanmaktadir. Metod, sözü edilen iletken tabakadaki çentiklerin (7) mekanik olarak sekillendirilmesi yoluyla çesitli iletken yollarin (8) isaretlenmesi asamasini içerir. Sekillendirme, hiç iletken madde ayirmadan ya da asagi itmeden sözü edilen iletken yollarin arasindaki çentikleri kesmek için keskin bir kesici alet kullanilarak yürütülür (5; 10). Metod ayrica çok katli devreler yapmak için de uygundur.
|