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发明名称 Method of forming a lithographic pattern
摘要
申请公布号 GB9911759(D0) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 GB19990011759 申请日期 1999.05.21
申请人 GUROVICH, BORIS A;SHTROMBAKH, YAROSLAV I;RYAZANTSEV, EVGENY P;PRIKHODKO, KIRILL E;VELIKHOV, EVGENY P;OLSHANSKY, EVGENY D;MEILIKHOV, EVGENY Z;DOMANTOVSKY, ALEXANDR G;DOLGY, DMITRY I;RYLKOV, VLADIMIR V;KULESHOVA, EVGENIA A;ARONZON, BORIS A 发明人
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01J37/317 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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