| 发明名称 |
DATA DISPLAY SYSTEM OF SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11195571(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19970368616 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FUJITA YOSHIMI;URABE TOSHIMITSU |
| 分类号 |
G01D7/00;G06F17/30;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
G01D7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
