发明名称 |
SPECIMEN SEPARATING DEVICE, METHOD AND MANUFACTURE OF SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11195568(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
申请号 |
JP19970361012 |
申请日期 |
1997.12.26 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YANAGIDA KAZUTAKA;SAKAGUCHI KIYOBUMI;OMI KAZUAKI;YONEHARA TAKAO |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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