发明名称 LOW ENERGY HEAVY ION THREE-DIMENSIONAL RADIATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH11195397(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980031931 申请日期 1998.01.05
申请人 NUNOGAKI MASANOBU 发明人 NUNOGAKI MASANOBU
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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