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发明名称 INTERFERENCE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11194011(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980011918 申请日期 1998.01.05
申请人 CANON INC 发明人 KAMIYA SEIICHI
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/24;G01M11/00;G01N21/45;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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