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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0929367(A1) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 EP19970909273 申请日期 1997.09.16
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 SCHOENLEBER, DIETMAR
分类号 G02F1/13;B08B3/04;B65G49/07;F26B11/22;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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