| 发明名称 |
Method and apparatus for processing a peripheral portion |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9911928(D0) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
GB19990011928 |
申请日期 |
1999.05.21 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B9/00;B24B1/00;B24B9/06;B24D5/02;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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