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发明名称
OPTICAL PARTS-INSPECTING DEVICE USING SCATTERED LIGHT
摘要
申请公布号
JPH11194069(A)
申请公布日期
1999.07.21
申请号
JP19970370437
申请日期
1997.12.30
申请人
KAWANISHI TETSUYA
发明人
KAWANISHI TETSUYA
分类号
G01B11/30;G01M11/00;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/00
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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