发明名称 OPTICAL PARTS-INSPECTING DEVICE USING SCATTERED LIGHT
摘要
申请公布号 JPH11194069(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19970370437 申请日期 1997.12.30
申请人 KAWANISHI TETSUYA 发明人 KAWANISHI TETSUYA
分类号 G01B11/30;G01M11/00;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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