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发明名称 FORMATION METHOD FOR CONNECTION HOLE
摘要
申请公布号 JPH11195705(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980000051 申请日期 1998.01.05
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASHIMA NAOKI
分类号 H01L21/768;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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