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发明名称 SURFACE SHAPE MEASUREMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH11194016(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980000242 申请日期 1998.01.05
申请人 NIKON CORP 发明人 DOI MASAAKI;IWASAKI YUTAKA
分类号 G01B11/24;G01B11/245;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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