| 发明名称 |
MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11195644(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19980202938 |
申请日期 |
1998.07.17 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
IMAI SHINICHI;JIWARI NOBUHIRO;NIKAWA HIDEO;NAKAGAWA SATOSHI;MATSUMOTO SEIJI;BITO YOJI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/507;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
