| 发明名称 |
METHOD FOR VAPORIZING ORGANIC ALKALINE-EARTH METAL COMPLEX IN CVD PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11193462(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19970366854 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
DOWA MINING CO LTD |
发明人 |
TAZAKI YUZO;ISHIAI JUNICHI |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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