| 发明名称 |
Ultra high purity gas distribution component with integral valved coupling and methods for its use |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5924447(A) |
申请公布日期 |
1999.07.20 |
| 申请号 |
US19980105966 |
申请日期 |
1998.06.26 |
| 申请人 |
AEROQUIP CORPORATION |
发明人 |
EVANS, BRYCE;REBENNE, HELEN E. |
| 分类号 |
F17D1/04;C23C16/44;F16K1/44;F16L29/04;F17C13/04;G05D7/01;H01L21/205;(IPC1-7):F16K31/122 |
主分类号 |
F17D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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