Trenchless buried contact process technology,申请号SG19980004394-传众专利搜索

发明名称	Trenchless buried contact process technology
摘要
申请公布号	SG66498(A1)	申请公布日期	1999.07.20
申请号	SG19980004394	申请日期	1998.10.31
申请人	CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD	发明人	XUDONG LI;XUECHUN DAI;GUANGPING HUA;TEE TIEW KEI
分类号	H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
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