发明名称
摘要
申请公布号 JP2922020(B2) 申请公布日期 1999.07.19
申请号 JP19910164331 申请日期 1991.07.04
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK 发明人 TAKAHASHI MASAYOSHI;SAITO KAZUO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址