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发明名称 DIODE TURN OVER SYSTEM OF SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR200151971(Y1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19930021830U 申请日期 1993.10.22
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 LEE, JUNG-HOON
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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