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发明名称 EXPOSURE APPARATUS OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR200152655(Y1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19930028629U 申请日期 1993.12.20
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, IN-SUK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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