发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER FIXING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100207451(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19950049710 申请日期 1995.12.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, CHE-YOUNG;PARK, YOUNG-KYU;LEE, SEUK-JUN
分类号 H01L21/683;B25B5/16;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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