| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Bauelement, mit wenigstens einer auf einer Silizium-Substrat strukturierten mikromechanischen Oberflächenstruktur und einem die wenigstens eine Oberflächenstruktur abdeckenden Kappenwafer. Es ist vorgesehen, daß der Kappenwafer (14) von einem Glaswafer (24) gebildet ist.</p> |
