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发明名称 Entwicklungssystem zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und zugehöriges Steuerungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19842902(A1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 DE1998142902 申请日期 1998.09.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD., SUWON, KYUNGKI, KR 发明人 AN, WOUNG-KWAN, INCHON, KR;KIM, DONG-HO, SUWON, KYUNGKI, KR
分类号 H01L21/027;G03F7/30;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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