| 发明名称 |
QUARTZ GLASS JIG FOR THE HEAT TREATMENT OF SILICON WAFERS AND METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100208623(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.15 |
| 申请号 |
KR19950027732 |
申请日期 |
1995.08.30 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. |
发明人 |
KEMMOCHI, KAZUHIKO |
| 分类号 |
C03C3/06;H01L21/22;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
C03C3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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