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发明名称 PROCESS FOR FORMING VIA HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100208442(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19950017288 申请日期 1995.06.24
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 SHIN, CHAN-SOO;KIM, CHUN-HWAN
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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