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经营范围
发明名称
TENSION CONTROL APPARATUS OF VACUUM CARRIER TRANSFER BELT
摘要
申请公布号
KR200152372(Y1)
申请公布日期
1999.07.15
申请号
KR19960033216U
申请日期
1996.10.09
申请人
ANAM SEMICONDUCTOR., LTD.;ANAM INSTRUMENTS, INC.
发明人
PARK, JONG-MOON
分类号
H01L23/48
主分类号
H01L23/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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