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发明名称
PHASE SHIFT MASK MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR100207473(B1)
申请公布日期
1999.07.15
申请号
KR19960020363
申请日期
1996.06.07
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
WOO, SANG-GWUN
分类号
G03F1/26;(IPC1-7):G03F1/14
主分类号
G03F1/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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