SURFACE ACOUSTIC WAVE COMPONENT ON A MONOCRYSTAL SUBSTRATE WHICH IS ALSO PYROELECTRIC

摘要

Oberflächenwellen-(SAW-)Bauelement für hohe Leistungsverträglichkeit mit Aluminiumelektrodenstruktur (12) auf pyroelektrischem Substratplättchen (10), wobei die Oberfläche (11) mit der Elektrodenstruktur (12) eine Kristall-Schnittfläche ist, die bei Erwärmung des pyroelektrischen Kristallmaterials elektrisch positiv aufgeladen wird. Insbesondere ist zusätzlich eine harte Schicht auf den Elektrodenstrukturen mit vorzugsweise daran angepasster Kristallschnitt-Orientierung vorgesehen.