Heat treatment apparatus, heat treatment process employing the same, and proce ssfor producing semiconductor article,申请号AU19980098191-传众专利搜索

发明名称	Heat treatment apparatus, heat treatment process employing the same, and proce ssfor producing semiconductor article
摘要
申请公布号	AU9819198(A)	申请公布日期	1999.07.15
申请号	AU19980098191	申请日期	1998.12.24
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	MASATAKA ITO;NOBUHIKO SATO
分类号	C30B31/10;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/762	主分类号	C30B31/10
代理机构		代理人
主权项
地址