发明名称 |
SURPLUS PROCESSING LIQUID DRAWING APPARATUS FOR LPCVD |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR200152530(Y1) |
申请公布日期 |
1999.07.15 |
申请号 |
KR19920025776U |
申请日期 |
1992.12.17 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
HU, KWANG-SOO |
分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|