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发明名称 A MAKING METHOD OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100207520(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19960053822 申请日期 1996.11.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 PARK, TAE-SEO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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