| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein Design- und Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Vorrichtung (100; 200; 300; 400; 600; 700) mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (10; 710) mit einem Verankerungsbereich (20; 120; 220; 320, 325; 420, 425; 620; 755); Bilden einer Opferschicht (25) auf dem Substrat (10; 710) unter Freilassen des Verankerungsbereichs (20; 120; 220; 320, 325; 420, 425; 620; 755); Abscheiden einer Haftschicht (30) auf der Opferschicht (25) und dem Verankerungsbereich (20; 120; 320, 325; 420, 425; 620; 755); Bilden einer Maske (40, 50) auf der Haftschicht (30); Abscheiden einer Galvanikschicht (35) auf dem unmaskierten Bereich der Haftschicht (30); und Entfernen der Maske (40, 50) und der Opferschicht (25).</p> |
