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发明名称 CHEMICAL-SENSITIZATION RESIST COMPOSITION AND OXIMESULFONATE COMPOUND USED IN THE SAME
摘要
申请公布号 KR100209472(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19970034757 申请日期 1997.07.24
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. 发明人 OOMORI, KATSUMI;HADA, HEDEO;KANEKO, FUMITAKE;SATO, MITSURU;SATO, KAZUFUMI;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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