发明名称 FABRICATING METHOD OF S.O.I. SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100209365(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19950039164 申请日期 1995.11.01
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 NAM, CHUL-WOO
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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