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发明名称 Epitaktische-Kobalt-Silizid auf einer dünnen metallischen Unterschicht
摘要
申请公布号 DE69415476(T2) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 DE1994615476T 申请日期 1994.10.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GEISS, PETER JOHN, UNDERHILL, VERMONT 05489, US;LICATA, THOMAS JOHN, LAGRANGEVILLE, NEW YORK 12540, US;HO, HERBERT LEI, WASHINGTONVILLE, NEW YORK 10992, US;RYAN, JAMES GARDNER, NEWTOWN, CONNECTICUT 06470, US
分类号 H01L21/28;C30B1/00;H01L21/223;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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