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发明名称 A CLEANING METHOD AND APPARATUS FOR BELT
摘要
申请公布号 KR100209216(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19960024198 申请日期 1996.06.26
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 YU, YOON-HA
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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