发明名称 LOW-CONTAMINATION IMPACT TOOL FOR BREAKING SILICON
摘要
申请公布号 KR100207163(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19920019583 申请日期 1992.10.23
申请人 HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 RICE, DANIEL PATRICK;RUHLIG, ELDEN EMERY;NEMETH, JOHN DEE;SCHMIDT, CHRIS TIM
分类号 B25D1/02;H01L21/301;(IPC1-7):B25D9/00 主分类号 B25D1/02
代理机构 代理人
主权项
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