包括静压流体轴承支承的剖光系统

摘要

包括静压流体轴承的化学机械带剖光机等剖光系统,静压流体轴承的一个特征是采用环绕流体入口阵列的柔性表面来扩展绕入口的升高压力区域;另一特征为控制或改变轴承中流体流动的方向以减少时间平均压力的偏差并在剖光垫中产生振动而提高剖光性能;又一特征是设有横向尺寸比待剖光的物件大的腔;又一特征是带螺旋或心形线的回液槽;再一特征是在入口提供恒定压力,但支承压力可通过改变流体入口的高度来改变局部薄膜厚度来调节。

主权项

1．一种剖光工具的支承，所述支承包括流体轴承，所述流体轴承包括：多个流体入口，用于连接流体源；多个出口，用于连接流体槽；多个柔性垫，其中所述入口、出口和柔性垫设置成当入口连接流体源且出口连接流体槽时，流体薄膜流经柔性垫。