光学拾取装置物镜光轴的实时调整装置和方法

摘要

利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的装置包括观察光源图象的第一光路部分和进行实时干涉测量的第二光路部分。该装置还包括:位于第二光路部分的投影镜和滤光片之间的分光镜;接收分光镜的反射光的光电接收器单元,后者包括两组各自至少四个在与物镜的工作台的XY坐标系对应的xy坐标系的四个象限内对称分布的、分别用来接收零级干涉图象和一级干涉圆环在四个象限的光线的光电接收器组;伺服传动机构;位置误差信号产生电路;以及计算装置。

主权项

1．一种利用实时干涉测量来调整光学拾取装置的物镜光轴的装置，该装置包括：用于将来自所述光学拾取装置的光线投射到投影屏幕(208)上的第一反射镜(202)、双三棱镜(203)和第二反射镜(207)；将所述投影屏幕上的图象摄入显示器(211(Ⅱ))上的第一摄象机(210)；将经所述双三棱镜(203)、投影镜(204)和滤光片(205)射出光线的干涉图象摄入显示器(211(Ⅰ))上的第二摄象机(206)；以及，控制所述物镜绕X轴和/或Y轴的倾斜度的工作台，其特征在于还包括：位于所述投影镜(204)和所述滤光片(205)之间、用于部分反射来自所述光学拾取装置的光线的分光镜(401)；用于接收来自分光镜(401)的反射光的光电接收器单元(402)，所述光电接收器单元包括：一组至少四个在与所述物镜(104)的所述工作台的XY坐标系的对应的xy坐标系的四个象限内对称分布的、用来接收一级干涉圆环在四个象限的光线的光电接收器(A、B、C、D)；以及至少四个与所述光电接收器(A、B、C、D)同心地设置在所述xy平面的、并在四个象限内对称分布的、用来接收零级干涉图象的另一组光电接收器(A’、B’、C’、D’)；用来承载和移动所述光电接收单元(402)的伺服传动机构；用来产生位置误差信号的电路，所述位置误差信号用来驱动所述伺服传动机构；以及计算装置，用来根据接收所述一级干涉圆环的光线的所述光电接收器(A、B、C、D)的输出电信号并按照预定的公式计算所述物镜绕所述X轴和/或Y轴的倾斜度。