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发明名称 Method and apparatus for dry etching
摘要
申请公布号 EP0561402(B1) 申请公布日期 1999.07.14
申请号 EP19930104477 申请日期 1993.03.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TAKAO, KUMIHASHI;KAZUNORI, TSUJINOTO;SHINICHI, TACHI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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