| 发明名称 | 显示装置 | ||
| 摘要 | 在液晶显示装置等显示装置内,为了使电极及配线等低电阻连接,在由多晶硅膜形成的漏区(5)和铝膜形成的漏电极(9)之间设置为防止硅扩散用的六方晶系的第1氮化钛膜(14)。在由ITO膜形成的透明显示电极(12)和由铝膜形成的漏电极(9)之间,为了使它们欧姆连接而设置六方晶系的第2氮化钛膜(15),它能由与钛膜(13)或第1钛膜(14)相同的靶溅射形成。因为第2氮化钛膜(15)对用于氧化硅膜的蚀刻液和对用于ITO膜蚀刻液有抗蚀性,所以在对它们蚀刻时能够保护漏电极(9)。 | ||
| 申请公布号 | CN1223015A | 申请公布日期 | 1999.07.14 |
| 申请号 | CN98800407.0 | 申请日期 | 1998.03.27 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 藤川绅介 |
| 分类号 | H01L29/786 | 主分类号 | H01L29/786 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 邰红;杨丽琴 |
| 主权项 | 1．一种显示装置，具有多晶硅膜和铝膜的第1电连接部，其特征在于，在该第1电连接部，在上述多晶硅膜和铝膜之间配备有第1氮化钛膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||