Ion implanter, substrate transporter and transport method,申请号GB19990011187-传众专利搜索

发明名称	Ion implanter, substrate transporter and transport method
摘要
申请公布号	GB9911187(D0)	申请公布日期	1999.07.14
申请号	GB19990011187	申请日期	1999.05.13
申请人	TAMAI, TADAMOTO	发明人
分类号	H01L21/00;H01L21/677	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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