发明名称 |
METHOD FOR MEASURING CRYSTAL ORIENTATION OF SINGLE CRYSTAL SILICON |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11190705(A) |
申请公布日期 |
1999.07.13 |
申请号 |
JP19970360082 |
申请日期 |
1997.12.26 |
申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
MATSUDA YASUSHI |
分类号 |
G01N23/20;C30B29/06;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01N23/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|