发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11191718(A) 申请公布日期 1999.07.13
申请号 JP19970356566 申请日期 1997.12.25
申请人 NEC CORP 发明人 KAMIMURA KAZUYOSHI
分类号 H01L27/06;H01L21/06;H01L21/338;H01L21/8232;H01L29/812;H03F3/195;H03F3/68;(IPC1-7):H03F3/195;H01L21/823 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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