| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE USING ROTARY ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11189878(A) |
申请公布日期 |
1999.07.13 |
| 申请号 |
JP19970360407 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD;MORI YUZO |
发明人 |
DOMOTO YOICHI;HIRANO HITOSHI;KURAMOTO KEIICHI;TARUI HISAKI;MORI YUZO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/455;C23C16/507;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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