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发明名称
SURFACE TEMPERATURE MEASURING DEVICE AND SURFACE TEMPERATURE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11190670(A)
申请公布日期
1999.07.13
申请号
JP19970366796
申请日期
1997.12.26
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SOGA AKIRA
分类号
G01K11/26;G01B11/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01K11/26
主分类号
G01K11/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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