| 发明名称 |
WET ETCHING METHOD FOR INP SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11191552(A) |
申请公布日期 |
1999.07.13 |
| 申请号 |
JP19980019123 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP;SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
YAO HIDEKI;ITAYA KINGO |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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