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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11191590(A) 申请公布日期 1999.07.13
申请号 JP19970328635 申请日期 1997.11.28
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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