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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH11189867(A)
申请公布日期
1999.07.13
申请号
JP19970354692
申请日期
1997.12.24
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
WATANABE TADASHI;TAKAO KIYOSHI;IKEDA HIROSHI;TOYOHARA NOBUYOSHI;KAWAMATA TAKESHI
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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